Вивчено основні плазмодинамічні й електрофізичні властивості плазмодинамічного підходу, які підтвердили висновки запропонованої теоретичної моделі магнетронного розряду. У межах модифікованої моделі С. Берга показано значний вплив поверхневої рухливості атомів у плівках осадження на характер перебігу процесу реактивного магнетронного напилення. Наведено результати дослідження емісійного оптичного спектра плазми циліндричного технологічного магнетрона оберненого типу та проаналізовано основні фізичні процеси, які визначають характер випромінення атомів у різноманітних режимах розряду: в режимі синтезу плівок титану та його бінарних сполук.

  Завантажити