| Каземірський Т.А. Високороздільна Х-променева дифрактометрія структурних порушень у приповерхневих шарах Si та кристаличних з'єднань CdHgTe, YLaFeO після іонної імплантації : автореф. дис... канд. фіз.-мат. наук : 01.04.07 / Т.А. Каземірський ; Чернів. нац. ун-т ім. Ю.Федьковича. — Чернівці, 2009. — 20 с. — укp.Запропоновано модель системи домінуючих структурних дефектів у модифікованих хімічним травленням та іонною імплантацією приповерхневих шарах кремнію. У даній моделі враховано наявність відповідних розмірів і концентрацій сферичних і дископодібних кластерних утворень, дислокаційних петель і ступеня пористості поверхневих шарів. За даними АСМ досліджень найбільші зміни рельєфу поверхні зафіксовано на плівці, опроміненій найбільшою дозою іонів, зокрема, виявлено характерні локальні розупорядковані області з перепадом висот до 20 нм і середніми розмірами ~0,15 мкм. Завантажити Індекс рубрикатора НБУВ: В379.24,022 + В379.225,022 + Шифр НБУВ: РА367224
Рубрики:
|