![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Книжкові видання та компакт-диски ![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Журнали та продовжувані видання ![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Автореферати дисертацій ![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Реферативна база даних ![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Наукова періодика України ![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Тематичний навігатор ![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Авторитетний файл імен осіб
![Mozilla Firefox](../../ico/mf.png) |
Для швидкої роботи та реалізації всіх функціональних можливостей пошукової системи використовуйте браузер "Mozilla Firefox" |
|
|
Пошуковий запит: (<.>U=З844.15-06 с116<.>) |
Загальна кількість знайдених документів : 1
|
1. ![](/irbis_nbuv/images/printer.jpg) | РА341523 Кириллов, Андрей Николаевич. Оптимизация процессов электронной литографии при формировании сложных структур с субмикронным разрешением [Текст] : автореф. дис... канд. физ.-мат. наук: 05.27.01 / Кириллов Андрей Николаевич ; АН СССР, Физико-технологический ин-т. - М., 1990. - 18 с.Рубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Дод. точки доступу: Физико-технологический институт; АН СССР; Физико-технологический институт
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|
|