Наведено результати досліджень випромінювання лазерної плазми галію, індію та міді. Плазму сформовано за допомогою неодимового лазера з потужністю випромінювання в області фокусування (0,5 - 2,0) x 10⁹ Вт x см^-2. Показано, що найбільш ефективно заселяються низькорозташовані збуджені стани GaI, InI та CuI. Для іонної складової випромінювання плазми спостережено лише найбільш ефективні спектральні лінії GaII та InII. Заселення збуджених станів атомів та іонів у лазерній плазмі відбувається в результаті реакції діелектронної рекомбінації. За випромінюванням плазми визначено вузькі місця рекомбінаційних потоків у системі енергетичних рівнів GaII, GaI, InII, InI та CuI. Отримані результати використовуються для спектроскопічної діагностики ерозійної плазми кристалів, що в свою чергу застосовується в процесі лазерного напилення тонких плівок.

Одержано спектри випромінювання та осцилограми інтенсивності спектральних ліній лазерної ерозійної плазми на основі сполуки CuInSe2. Встановлено, що спектри випромінювання з гарячої зони цієї лазерної ерозійної плазми включають спектральні лінії збуджених атомів міді, індію, селену та їх однозарядних іонів. Визначено основні параметри та характеристики лазерного факела на основі сполуки CuInSe2: швидкість поширення, часи рекомбінації іонів, температуру та концентрацію частинок. Показано, що на початкових етапах існування плазми основним процесом виступає рекомбінація, а за збільшення відстані від мішені та часу затримки починають проявлятися газодинамічні та теплові ефекти, які значно визначатимуть особливості формування атомів та іонів у збуджених станах.

Вивчення початкових етапів розширення ерозійної лазерної плазми олова проведено за допомогою методу емісійної спектроскопії з високим часовим розділенням. Досліджено часові залежності заселеності збуджених станів атомів та іонів олова. Проведено оцінку часів рекомбінації іонів, встановлено залежності від часу для температури та концентрації електронів лазерної плазми на відстанях 1 і 7 мм від мішені.