С помощью метода вакуумно-дугового осаждения получены покрытия на основе (Ti - Zr - Nb)N. Изучены их физико-механические свойства и триботехнические характеристики. Коэффициент трения системы "покрытие - Al2O3" составляет 1,1. Покрытия характеризуются столбчатой структурой, твердость покрытий достигает НV0,05 = 44,57 ГПа.

Изучены фрикционные свойства многокомпонентных нанокомпозитных покрытий с помощью трибометрического метода. Наноструктурированные нитридные покрытия состоят из фазы твердого раствора ГЦК-типа и фазы типа NaCl с подавляющей (111) ориентацией. Изучено влияние температуры отжига на трибологические характеристики. Износостойкость после термообработки уменьшается с <$E7,8~times~10 sup -5~roman {мм sup 3 ~times~N sup -1 ~times~м} sup -1> до <$E1,03~cdot~10 sup -5~roman {мм sup 3 ~times~N sup -1 ~times~м} sup -1>.

Зазначено, що нітриди перехідних металів Mo та Cr характеризуються порівняно низькою теплотою утворення. Вивчено можливості елементної та структурної інженерії вакуумно-дугових покриттів на основі Mo та Cr під впливом потенціалу зсуву Us і тиску реакційного газу PN. Виявлено, що за порівняно невеликої товщини шарів нанометрового порядку, який забезпечує надтвердий стан покриттів, подача Us величиною, що перевищує критичне значення, призводить до падіння твердості, що можна пояснити перемішуванням шарів міжфазної межі.

The mechanical characteristics of the multielement coatings (TiNbCrZrSi)N have been studied depending on the deposition process parameters, in particular the bias potential. X-ray diffraction spectra has shown, that the coating is formed on the basis of single-phase state of the fcc lattice, which in the case of nitrides has structural type NaCl. Hardness and elastic modulus of the coating (TiNbCrZrSi)N varies from H = 24 GPa and E = 254 GPa to H = 28,9 GPa and E = 291 GPa. Coating index of resistance to plastic deformation (H³/E² has a value of 0,28).

A comprehensive study of the influence of the thickness of the layers, U_s and P_N on the structural engineering to obtain high mechanical properties in multilayer composite MoN/CrN vacuum-arc coatings has been conducted by means of scanning electron microscopy with energy analysis, X-ray diffraction studies microindentation and scratch testing methods. It has been determined that in the studied P_N = (2 - 30) x 10^-4 Torr, the content of nitrogen in the coatings varies from 0,3 to 33 at. %. which leads even at the greatest nitrogen content to the formation of lower phase by nitrogen. γMo₂N and isostructural CrN with the vacant sites in the nitrogen sublattice. The increase of thickness of the layers applied on the substrate in a stationary state promotes the increase of nitrogen content. Along with this, the lowest microdeformation and the average size of crystallites are formed at U_b = - 300 V, which defines the achievement of greater hardness of 35 GPa and high adhesion strength, which resists the destruction, L_c5 = 187,6 N.

Обговорено результати осадження наноструктурних покриттів, одержаних шляхом вакуумно-дугового випаровування катоду (Ti - Zr - Nb), а також проаналізовано їх структуру, морфологію, елементний склад і трибологічні властивості (тертя, знос, адгезія). Структурний аналіз показав формування ГЦК фази та у невеликій кількості ОЦК - фази (за тиску у камері P = 4 · 10^-3 Торр). Результати бологічних випробувань показали, що коефіцієнт тертя змінюється від 0,61 до 0,491 і твердість за Віккерсом від 37 до 44,57 ГПа, у разі зміни (збільшення) тиску у камері. Проведено аналіз елементів у доріжках тертя.