Методами растровой электронной и атомно-силовой микроскопии, энергодисперсионного анализа, анализа Резерфордовского обратного рассеяния ионов, рентгенодифракционного анализа, измерениями микротвердости и трибологическими испытаниями исследованы нитриды высокоэнтропийных сплавов (TiZrHfVNb)N, полученные при помощи вакуумно-дугового испарения катода. Обнаружено влияние параметров осаждения на структуру, морфологию поверхности, распределение элементов, механические и трибологические свойства исследуемых покрытий.