| 1. |
Готра З. Ю. Технологія електронної техніки : навч. посіб.: у 2 т. Т. 1 / З. Ю. Готра; Нац. ун-т "Львів. політехніка". - Л., 2010. - 888 c. - Библиогр.: 81 назв. - укp.Проаналізовано основні технологічні процеси електронної техніки (ЕТ), зокрема, вирощування монокристалів, механічну, фізико-хімічну обробку матеріалів і напівпровідникових структур. Розглянуто процеси дифузії, епітаксії, іонної імплантації, лазерної, плазмової та електронно-променевої обробки. Описано технологію фото-, електроно-, рентгенолітографії, тонких і товстих плівок, створення наноструктур, а також монтаж і герметизацію. Висвітлено методи одержання вакууму та контролю в технології ЕТ. Проанализированы основные технологические процессы электронной техники (ЭТ), в частности, выращивания монокристаллов, механическая, физико-химическая обработка материалов и полупроводниковых структур. Рассмотрены процессы диффузии, эпитаксии, ионной имплантации, лазерной, плазменной и электронно-лучевой обработки. Описаны технология фото-, электроно-, рентгенолитографии, тонких и толстых пленок, создания наноструктур, а также монтаж и герметизация. Освещены методы получения вакуума и контроля в технологии ЭТ. Індекс рубрикатора НБУВ: З85-06я73-1
Рубрики:
Шифр НБУВ: В352194/1 Пошук видання у каталогах НБУВ
|