Досліджено мініатюрні автономні джерела початкової іонізації для антенних комутаторів радіолокаційних станцій (РЛС) міліметрового і субміліметрового діапазонів хвиль і джерел електричного струму, принцип дії яких пов'язаний з використанням енергії <$Ebeta>-випромінювання тритію. Показано можливості використання джерел початкової іонізації для НВЧ-розрядників РЛС міліметрового та субміліметрового діапазону хвиль на базі метало-тритієвих структур у поєднанні з каналовими помножувачами електронів та мікроканальними пластинами і джерела початкової іонізації утвореного двома зустрічними голкоподібними електродами з тритідом титану на конічних поверхнях. Наведено результати експериментальних досліджень фізичних і фізико-технічних характеристик джерел початкової іонізації, площинних перетворювачів енергії <$Ebeta>-випромінювання тритію типу діодів Шотткі на основі тритід титану чи скандію на монокристалічному р-кремнії, гідрогенізованому аморфному кремнії, фосфіді галію та телуриді кадмію та p-n-гетеропереходів на базі широкозонних сполук <$Eroman {A sub 2 B sub 6 }> з вбудованим в область просторового заряду варізонним прошарком. Запропоновано конструкцію та експериментально досліджено фізичні характеристики перетворювачів енергії <$Ebeta>-виромінювання тритію на базі багатошарових плівкових p-i-n структур і аморфного кремнію. Створено установку іонно-пучкової низькоенергетичної імплантації. Проведено експериментальні дослідження з імплантації іонів протію та дейтерію дегідрогенізованого й постгідрогенізованого аморфного кремнію з наступною низькотемпературною дифузією у вакуумі.