Повнотекстовий пошук
Пошуковий запит: (<.>AT=Олешкевич Моделювання процесу дифузійного оксидоутворення$<.>) |
Загальна кількість знайдених документів : 1
|
1. |
Олешкевич А. І. Моделювання процесу дифузійного оксидоутворення на поверхні нанорозмірних металевих плівок [Електронний ресурс] / А. І. Олешкевич, С. І. Сидоренко, А. М. Гусак, С. М. Волошко // Металлофизика и новейшие технологии. - 2013. - Т. 35, № 5. - С. 611-622. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MPhNT_2013_35_5_6 С помощью методов Оже-электронной спектроскопии, рентгеновского локального микроанализа, резерфордовского обратного рассеяния, рентгенофазового анализа, растровой электронной микроскопии исследованы начальные стадии низкотемпературной диффузии в наноразмерных тонкопленочных системах Cu(180 нм)/Mn(60 нм)/SiO2 и Sn(60 нм)/Cu(180 нм)/Mn(60 нм)/SiO2. Показано, что марганец диффундирует по границам зерен "верхних" слоев, и реакция его окисления на внешней поверхности создает дополнительную движущую силу массопереноса. Концентрация Mn на поверхности трехслойной системы после отжига в вакууме 10<^>-6 Па при температуре <$E200~symbol Р roman C> в течение 20 минут больше, чем при аналогичных условиях отжига двухслойной системы, что связано с развитием фазовых превращений. Предложена теоретическая модель, которая позволяет прогнозировать кинетику роста оксида Mn3O4 на поверхности системы Cu/Mn, выполнены количественные расчеты. Показано, что наибольшая скорость роста оксида наблюдается в области стыка границы зерна с поверхностью пленочной системы.
|
|
|