Повнотекстовий пошук
Пошуковий запит: (<.>AT=Руденко Формування нанокристалічного кремнію в$<.>) |
Загальна кількість знайдених документів : 1
|
1. |
Руденко Р. М. Формування нанокристалічного кремнію в плівках аморфного кремнію, легованого оловом [Електронний ресурс] / Р. М. Руденко, О. О. Войціховська, В. В. Войтович, А. Г. Колосюк, М. М. Красько, В. Ю. Поварчук, М. П. Руденко, Л. М. Кнорозок // Український фізичний журнал. - 2020. - Т. 65, № 3. - С. 234-244. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/UPhJ_2020_65_3_9 Досліджено процес формування кристалічної фази кремнію в плівках аморфного кремнію, легованого оловом. Показано, що включення металевого олова відіграють ключову роль в процесі кристалізації досліджуваних зразків <$E alpha>-SіSn (Sn ~ 1 - 10 ат. %) при температурах 300 - 500 <$E symbol Р>C. Процес кристалізації умовно можна поділити на два етапи. На першому етапі у об'ємі свіжоосаджених плівок внаслідок дифузії атомів олова в аморфній матриці кремнію відбувається формування металевих включень олова. На другому етапі відбувається формування нанокристалічної фази кремнію внаслідок руху атомів кремнію від аморфної до кристалічної фази через сформовані металеві включення олова. Присутність металевих включень олова забезпечує формування кристалітів кремнію при значно нижчій температурі, ніж температура твердофазної рекристалізації (~ 750 <$E symbol Р>C). Проаналізовано можливість існування взаємозв'язку між розмірами нанокристалічного кремнію, який формується, та розмірами металевих включень олова, які сприяють його формуванню.
|
|
|