Книжкові видання та компакт-диски Журнали та продовжувані видання Автореферати дисертацій Реферативна база даних Наукова періодика України Тематичний навігатор Авторитетний файл імен осіб
|
Для швидкої роботи та реалізації всіх функціональних можливостей пошукової системи використовуйте браузер "Mozilla Firefox" |
|
|
Повнотекстовий пошук
Пошуковий запит: (<.>A=Зубарев Е$<.>) |
Загальна кількість знайдених документів : 11
Представлено документи з 1 до 11
|
1. |
Зубарев Е. Н. Ионно-лучевое перемешивание в слоистых системах [Електронний ресурс] / Е. Н. Зубарев // Успехи физики металлов. - 2010. - Т. 11, № 2. - С. 175-207. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/UPhM_2010_11_2_3 При малых дозах облучения (ионами He<^>+ и Ar<^>+) толщина силицидных фаз на межфазных границах раздела Mo-на-Si и Si-на-Mo увеличивается одинаково и линейно с дозой облучения. Средний атомный состав аморфных перемешанных зон соответствует сплаву состава MoSi8,2 и MoSi3,9 при облучении ионами He<^>+ и Ar<^>+ соответственно. При увеличении дозы облучения наблюдается уменьшение плотности аморфных перемешанных зон. На температурной зависимости ионно-лучевого перемешивания многослойных структур Mo/Si, облученных ионами He<^>+, наблюдаются два участка: 1 - слабой зависимости, 2 - сильной зависимости от температуры облучения. Энергии активации ионно-лучевого перемешивания для указанных участков составляют <$E Q sub 1~symbol Ы~0,02> и <$E Q sub 2~symbol Ы~0,5> эВ соответственно. Особенности ионно-лучевого перемешивания объясняются на основе перемешивания в субкаскадах столкновений.
| 2. |
Першин Ю. П. Исследование границ раздела фаз в периодических многослойных структурах Mo/Si с использованием метода масс-спектрометрии нейтральных частиц [Електронний ресурс] / Ю. П. Першин, В. А. Севрюкова, Е. Н. Зубарев, А. С. Оберемок, В. П. Мельник, Б. Н. Романюк, В. Г. Попов, П. М. Литвин // Металлофизика и новейшие технологии. - 2013. - Т. 35, № 12. - С. 1617-1627. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MPhNT_2013_35_12_5 Исследованы многослойные периодические структуры Mo/Si методами малоугловой рентгеновской дифракции, атомно-силовой микроскопии и масс-спектрометрии постионизированных нейтральных частиц. Из спектров дифракции рентгеновских лучей определены скорости нанесения слоёв при различных техноогических условиях. Моделирование спектров дифракции многослойных структур и сопоставление их с экспериментальными результатами показали, что на границах раздела фаз формируется силицид молибдена. Измерения распределения примесей по толщине подтвердили наличие слоев силицида на границе раздела фаз, а также обнаружили слои оксидов; проведены оценки толщин последних. Найдены оптимальные режимы распыления структур при послойном примесном масс-спектрометрическом анализе, которые позволили получить разрешающую способность метода по глубине не хуже 1,0 нм при профилировании до глубины 100 нм. Показано, что разрешение этого метода ограничивается формой и шероховатостью дна кратера при ионном травлении и зависит от энергии ионов плазмы и режимов травления.
| 3. |
Малеев М. В. Физические механизмы распыления мишеней из SiO2 ускоренными ионами фуллерена C60 [Електронний ресурс] / М. В. Малеев, Е. Н. Зубарев, В. Е. Пуха, А. Н. Дроздов, А. С. Вус // Металлофизика и новейшие технологии. - 2015. - Т. 37, № 6. - С. 775-788. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MPhNT_2015_37_6_8 Исследованы физические закономерности и механизмы роста углеродных пленок и эрозии поверхности при облучении мишеней из кварца (SiO2) пучком ускоренных ионов С60 с энергией в интервале 2,5 - 10 кэВ при температуре мишени 373 К. Установлено, что рост углеродных пленок на поверхности облучаемых мишеней из SiО2 наблюдается в интервале энергий ионов 2,5 - 3,75 кэВ. При этом скорость осаждения углерода лимитируется процессом эрозии поверхности роста, интенсивность которого зависит от энергии ионов. При энергии ионов выше верхних значений указанных интервалов пленка на поверхности не формируется, и наблюдается эрозия материала мишени. Показана возможность удаления аморфного оксида с поверхности кремниевой подложки и формирование на ней эпитаксиального карбида кремния.
| 4. |
Конотопский Л. Е. Особенности роста наноразмерных слоев Mg2Si в многослойных рентгеновских зеркалах Si/Mg2Si [Електронний ресурс] / Л. Е. Конотопский, И. А. Копылец, В. А. Севрюкова, Е. Н. Зубарев, В. В. Кондратенко // Журнал нано- та електронної фізики. - 2016. - Т. 8, № 2. - С. 02021-1-02021-6. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnef_2016_8_2_23 С помощью электронно-микроскопических и рентгенографических методов исследованы особенности роста наноразмерных слоев силицида магния в многослойном рентгеновском зеркале Si/Mg2Si с периодом 1 - 1,7 нм в исходном состоянии и после отжига. Установлено, что в исходном состоянии слои силицида магния представляют собой аморфную матрицу с включениями нанокристаллической фазы силицида магния в неравновесной гексагональной модификации. Формирование силицида магния в гексагональной модификации происходит под действием механических напряжений, источником которых являются слои кремния. Отжиг многослойного рентгеновского зеркала Si/Mg2Si при Т = 723 К приводит к кристаллизации и рекристаллизации слоев силицида магния из аморфной фазы, что сопровождается уменьшением периода рентгеновского зеркала на 7,3 %.
| 5. |
Конотопский Л. Е. Рост, структура и оптические свойства многослойных рентгеновских зеркал W/Mg2Si [Електронний ресурс] / Л. Е. Конотопский, И. А. Копылец, В. А. Севрюкова, Е. Н. Зубарев, В. В. Мамон, В. В. Кондратенко // Журнал фізики та інженерії поверхні. - 2017. - Т. 2, № 1. - С. 17-25. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jsphen_2017_2_1_5
| 6. |
Воронов Д. Л. Начальные стадии перемешивания в многослойных периодических покрытиях Mo/Si при облучении ионами He [Електронний ресурс] / Д. Л. Воронов, А. Ю. Девизенко, Е. Н. Зубарев, В. В. Кондратенко, А. В. Пеньков, В. А. Севрюкова, В. В. Бобков, Т. И. Перегон, Л. П. Тищенко // Фізична інженерія поверхні. - 2004. - Т. 2, № 1-2. - С. 54-59. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Phip_2004_2_1-2_10
| 7. |
Севрюкова В. А. Эволюция структуры пленок Mo, полученных методом магнетронного распылении на a-Si [Електронний ресурс] / В. А. Севрюкова, Е. Н. Зубарев, В. В. Кондратенко, Ю. П. Першин, В. О. Цебенко // Фізична інженерія поверхні. - 2011. - Т. 9, № 2. - С. 102-114. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Phip_2011_9_2_3
| 8. |
Копылец И. А. Структурно-фазовые превращения в многослойных периодических композициях W-B4C с периодом 2,5 нм при нагреве [Електронний ресурс] / И. А. Копылец, Е. Н. Зубарев, В. В. Кондратенко, К. А. Ананьев // Фізична інженерія поверхні. - 2011. - Т. 9, № 2. - С. 182-187. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Phip_2011_9_2_13
| 9. |
Журавель И. А. Эволюция структуры и механизм термического разрушения многослойных композиций C/Si [Електронний ресурс] / И. А. Журавель, Е. А. Бугаев, А. В. Пеньков, Е. Н. Зубарев, В. А. Севрюкова, В. В. Кондратенко // Фізична інженерія поверхні. - 2014. - Т. 12, № 1. - С. 20-30. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Phip_2014_12_1_6
| 10. |
Малеев М. В. Особенности распыления кремниевых и углеродных мишеней ускоренными ионами фуллерена C60 [Електронний ресурс] / М. В. Малеев, Е. Н. Зубарев, В. Е. Пуха, А. Н. Дроздов, А. С. Вус, А. Ю. Девизенко // Фізична інженерія поверхні. - 2015. - Т. 13, № 1. - С. 91-104. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Phip_2015_13_1_15
| 11. |
Малеев М. В. Особенности взаимодействия ускоренных инов С60 с поверхностью ITO мишени [Електронний ресурс] / М. В. Малеев, Е. Н. Зубарев, В. Е. Пуха, А. Н. Дроздов, А. С. Вус, А. В. Пеньков // Фізична інженерія поверхні. - 2015. - Т. 13, № 2. - С. 184-195. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Phip_2015_13_2_10
|
|
|