Повнотекстовий пошук
Пошуковий запит: (<.>A=Индутный И$<.>) |
Загальна кількість знайдених документів : 2
Представлено документи з 1 до 2
|
1. |
Индутный И. З. Оптическая запись микро- и наноразмерных рельефных структур на неорганических резистах Ge-Se [Електронний ресурс] / И. З. Индутный, А. А. Крючин, Ю. А. Бородин, В. А. Данько, М. В. Луканюк, В. И. Минько, П. Е. Шепелявый, Э. В. Гера, В. М. Рубиш // Реєстрація, зберігання і обробка даних. - 2013. - Т. 15, № 4. - С. 3-12. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/rzod_2013_15_4_3 Представлены результаты экспериментальных исследований по записи микрорельефных структур сфокусированным лазерным излучением с длиной волны 405 нм на пленках неорганических фоторезистов системы Ge - Se. Показано, что микрорельефные структуры глубиной 100 нм могут быть получены на неорганических фоторезистах состава GeSe3. Увеличение содержания германия (исследовался состав GeSe2) не позволяет получать микрорельефные структуры с глубиной рельефа, необходимой для изготовления дисков-оригиналов, используемых в производстве DVD и BD компакт-дисков. Пленки с высоким содержанием Se (GeSe8) характеризуются наличием кристаллических включений и не могут быть использованы для получения микрорельефных структур при записи информации на диски-оригиналы.
| 2. |
Михайловская Е. В. Кинетика фотолюминесценции пористых nc-Si–siox-структур [Електронний ресурс] / Е. В. Михайловская, В. А. Данько, И. З. Индутный, П. Е. Шепелявый // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника. - 2012. - Вып. 47. - С. 97-103. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/ont_2012_47_13
|
|
|