Повнотекстовий пошук
Пошуковий запит: (<.>A=Яковін С$<.>) |
Загальна кількість знайдених документів : 3
Представлено документи з 1 до 3
|
1. |
Азарєнков М. О. Іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій [Електронний ресурс] / М. О. Азарєнков, С. В. Дудін, О. В. Зиков, В. І. Фаренік, С. Д. Яковін // Журнал фізики та інженерії поверхні. - 2017. - Т. 2, № 2-3. - С. 119-142. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jsphen_2017_2_2-3_9
| 2. |
Зиков О. В. Синтез діелектричних сполук на базі магнетрону постійного струму [Електронний ресурс] / О. В. Зиков, С. Д. Яковін, С. В. Дудін // Фізична інженерія поверхні. - 2009. - Т. 7, № 3. - С. 195-203. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Phip_2009_7_3_5
| 3. |
Яковін С. Д. Іонно-плазмова система для реактивного магнетронного нанесення покриттів [Електронний ресурс] / С. Д. Яковін, О. В. Зиков, С. В. Дудін, В. І. Фаренік, М. М. Юнаков // Фізична інженерія поверхні. - 2014. - Т. 12, № 3. - С. 428-439. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Phip_2014_12_3_14
|
|
|