Применение порошковых катодов для осаждения Ti-Si-N покрытий из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы

Васильев, В. В.; Лучанинов, А. А.; Решетняк, Е. Н.; Стрельницкий, В. Е.; Толмачева, Г. Н.; Прибытков, Г. А.; Гурских, А. В.; Криницын, М. Г.


	Наукова періодика України		Фізична інженерія поверхні

Васильев В. В.
Применение порошковых катодов для осаждения Ti-Si-N покрытий из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы / В. В. Васильев, А. А. Лучанинов, Е. Н. Решетняк, В. Е. Стрельницкий, Г. Н. Толмачева, Г. А. Прибытков, А. В. Гурских, М. Г. Криницын // Фізична інженерія поверхні. - 2015. - Т. 13, № 2. - С. 148-163. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Phip_2015_13_2_6

Повний текст PDF - 631.631 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Бібліографічний опис для цитування:

Васильев В. В. Применение порошковых катодов для осаждения Ti-Si-N покрытий из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы / В. В. Васильев, А. А. Лучанинов, Е. Н. Решетняк, В. Е. Стрельницкий, Г. Н. Толмачева, Г. А. Прибытков, А. В. Гурских, М. Г. Криницын // Фізична інженерія поверхні. - 2015. - Т. 13, № 2. - С. 148-163. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Phip_2015_13_2_6.

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

Васильєв Всеволод Вікторович (1935–2021) (технічні науки)

Решетняк Олена Миколаївна (фізико-математичні науки)

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача