Разработка технологии получения кремниевых эпитаксиальных структур уменьшенной величиной концентрационной переходной области

Оксанич, А. П.; Седин, Е. А.


	Наукова періодика України		Прикладная радиоэлектроника

Оксанич А. П.
Разработка технологии получения кремниевых эпитаксиальных структур уменьшенной величиной концентрационной переходной области / А. П. Оксанич, Е. А. Седин // Прикладная радиоэлектроника. - 2012. - Т. 11, № 1. - С. 100-103. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Prre_2012_11_1_17

Повний текст PDF - 783.271 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Оксанич А.

Седин Е.

Бібліографічний опис для цитування:

Оксанич А. П. Разработка технологии получения кремниевых эпитаксиальных структур уменьшенной величиной концентрационной переходной области / А. П. Оксанич, Е. А. Седин // Прикладная радиоэлектроника. - 2012. - Т. 11, № 1. - С. 100-103. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Prre_2012_11_1_17.

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

Оксанич Анатолій Петрович (технічні науки)

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача