Показано перспективність методу атомно-силової мікроскопії, як єдиного методу дослідження мікрогеометричних параметрів та фізико-механічних характеристик (в нанометровому діапазоні) в одному циклі сканування за допомогою кремнієвого зонду, модифікованого вуглецевим покриттям. Описано методику та наведено дослідження мікротвердості та зносостійкості тонких покриттів SiO2, HfO2 та Au (мікротвердість, відповідно, 9,02, 7,8, 0,34 ГПа; зносостійкість, відповідно, 18,3; 23,1; 31,6 у.о.). В результаті порівняння з довідниковими даними визначено, що мікротвердість поверхневого шару матеріалу більша за мікротвердість в глибині матеріалу.

  Повний текст PDF - 858.393 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"