![]() | Наукова періодика України |
| Eastern-European journal of enterprise technologies |
Шевченко И. В. Информационные технологии управления качеством процесса выращивания монокристаллов полупроводников / И. В. Шевченко // Восточно-Европейский журнал передовых технологий. - 2014. - № 3(2). - С. 52-56. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Vejpte_2014_3%282%29__11 Приведен комплекс информационных технологий (ИТ), обеспечивающих мониторинг процесса выращивания монокристаллов, поддержку принятия решений по коррекции режима выращивания и оптимизацию геометрических параметров теплового экрана ростовой установки. Реализация ИТ позволила снизить потери от срывов процесса выращивания и сократить расходы на техническую подготовку производства. Цитованість авторів публікації: Бібліографічний опис для цитування: Шевченко И. В. Информационные технологии управления качеством процесса выращивания монокристаллов полупроводников / И. В. Шевченко // Восточно-Европейский журнал передовых технологий. - 2014. - № 3(2). - С. 52-56. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Vejpte_2014_3(2)__11.Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) |
|
|
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського |
|||||