| Наукова періодика України |
| Journal of nano- and electronic physics |
Коваленко Д. А. Исследование внутренних механических напряжений, возникающих в структурах Si-SiO2-ЦТС / Д. А. Коваленко, В. В. Петров // Журнал нано- та електронної фізики. - 2015. - Т. 7, № 3. - С. 03036-1-03036-5. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnef_2015_7_3_38 Описаны исследования направленные на выявление механизмов роста сегнетоэлектрических тонких пленок цирконата-титаната свинца (ЦТС) на окисленных кремниевых подложках. Показано, что скорость роста сегнетоэлектрической пленки составляет порядка 15 - 18 нм/мин, а пленки формируются по механизму Странски - Крастанова. Приведены результаты теоретических исследований внутренних механических напряжений, возникающих в связи с разницей в коэффициентах термического расширения материалов кремниевой подложки, подслоя оксида кремния и пленки ЦТС. Представлены результаты экспериментальных исследований внутренних механических напряжений, показавшие их хорошее совпадение с результатами расчетов в диапазоне толщин пленок ЦТС 100 - 300 нм. Цитованість авторів публікації: Бібліографічний опис для цитування: Коваленко Д. А. Исследование внутренних механических напряжений, возникающих в структурах Si-SiO2-ЦТС / Д. А. Коваленко, В. В. Петров // Журнал нано- та електронної фізики. - 2015. - Т. 7, № 3. - С. 03036-1-03036-5. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnef_2015_7_3_38.Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця" |
|
|
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського |
|||||
