| Наукова періодика України |
| Реєстрація, зберігання і обробка даних |
Петров В. В. Методи формування нанорозмірних структур на плівках халькогенідних склоподібних напівпровідників / В. В. Петров, П. М. Литвин, М. Л. Трунов, А. А. Крючин, Є. В. Беляк, В. М. Рубіш, С. О. Костюкевич, А. А. Коптюк // Реєстрація, зберігання і обробка даних. - 2016. - Т. 18, № 1. - С. 3-13. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/rzod_2016_18_1_3 Надано аналіз методів запису мікро- та нанорельєфних структур на плівках халькогенідних склоподібних напівпровідників. Показано, що при експонуванні плівок халькогенідних склоподібних напівпровідників оптичним випромінюванням, яке сфокусовано дифракційно обмеженими оптичними системами, відбитки, розміри яких значно менші дифракційної межі, можуть бути одержані за використання нелінійності експозиційної характеристики фоточутливих матеріалів. Наведено дані про запис нанорозмірних структур ближньопольовими та електронно-променевими фокусувальними системами. Цитованість авторів публікації: Бібліографічний опис для цитування: Петров В. В. Методи формування нанорозмірних структур на плівках халькогенідних склоподібних напівпровідників / В. В. Петров, П. М. Литвин, М. Л. Трунов, А. А. Крючин, Є. В. Беляк, В. М. Рубіш, С. О. Костюкевич, А. А. Коптюк // Реєстрація, зберігання і обробка даних. - 2016. - Т. 18, № 1. - С. 3-13. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/rzod_2016_18_1_3.Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця" |
|
|
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського |
|||||
