| Наукова періодика України |
| Вісник Національного технічного університету "ХПІ" |
Олійник О. О. Модуляційно-поляризаційний метод вимірювання внутрішніх механічних напружень в мікроелектронних структурах Si-Al / О. О. Олійник // Вісник Національного технічного університету "ХПІ". Серія : Механіко-технологічні системи та комплекси. - 2016. - № 17. - С. 3-7. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/vcpimtck_2016_17_3 Цитованість авторів публікації: Бібліографічний опис для цитування: Олійник О. О. Модуляційно-поляризаційний метод вимірювання внутрішніх механічних напружень в мікроелектронних структурах Si-Al / О. О. Олійник // Вісник Національного технічного університету "ХПІ". Серія : Механіко-технологічні системи та комплекси. - 2016. - № 17. - С. 3-7. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/vcpimtck_2016_17_3.Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця" |
|
|
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського |
|||||
