Повнотекстовий пошук
Пошуковий запит: (<.>A=ABAKUMOV P. A.<.>) |
Загальна кількість знайдених документів : 2
Представлено документи з 1 до 2
|
1. |
Zakhvalinskii V. S. RF Magnetron Sputtering of Silicon Carbide and Silicon Nitride Films for Solar Cells [Електронний ресурс] / V. S. Zakhvalinskii, E. A. Piljuk, I. Yu. Goncharov, V. G. Rodriges, A. P. Kuzmenko, S. V. Taran, P. A. Abakumov // Журнал нано- та електронної фізики. - 2014. - Т. 6, № 3. - С. 03062-1-03062-3. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnef_2014_6_3_64 RF-magnetron nonreactive sputtering method from solid-phase target in argon atmosphere was used for obtaining thin silicon carbide and silicon nitride films, that are used for constructing solar cells based on substrates of single crystal silicon of p-type.
| 2. |
Zakhvalinskii V. S. Temperature Influence on the Properties of Thin Si3N4 Films [Електронний ресурс] / V. S. Zakhvalinskii, P. A. Abakumov, A. P. Kuzmenko, E. A. Piljuk, V. G. Rodrigues, I. J. Goncharov, S. V. Taran // Журнал нано- та електронної фізики. - 2015. - Т. 7, № 4. - С. 04052-1-04052-2. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnef_2015_7_4_54 Applying Raman spectroscopy, small-angle x-ray scattering, and atomic force microscopy it were studied phase composition and surface morphology of nanoscale films Si3N4 (obtained by RF magnetron sputtering).
|
|
|