|
|
РА305308
Илькаев, Дмитрий Радиевич.
Моделирование и оптимизация процессов экспонирования и проявления фоторезистов [Текст] : автореф. дис... канд. физ.- мат. наук: 05.27.01 / Илькаев Дмитрий Радиевич ; АН СССР, Физико- технологический ин-т. - М., 1990. - 17 с.Рубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Дод. точки доступу:
АН СССР; Физико-технологический институт
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|