|
|
ДС83905
 Новосядлий, Степан Петрович.
Фізико-технологічні особливості формування субмікронних структур великих інтегральних схем [Текст] : дис... д-ра техн. наук: 05.27.01 / Новосядлий Степан Петрович ; Прикарпатський ун-т ім. Василя Стефаника, Національний ун-т "Львівська політехніка", СКТБ "Орізон" ВАТ "Родон". - Івано-Франківськ, 2003. - 409 арк. - арк. 375-409Рубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Дод. точки доступу:
СКТБ "Орізон" ВАТ "Родон"; Прикарпатський університет імені Василя Стефаника (Івано-Франківськ); Національний університет "Львівська політехніка" (Львів); СКТБ "Орізон" ВАТ "Родон"
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|