Р80385
Новиков, Ю. А..
Измерение диаметра электронного зонда РЭМ, ПРЭМ и электронных литографов [Текст] / Ю. А. Новиков [и др]. - М. : [б.в.], 1995. - 23 с. - (Препр. / РАН, Институт общей физики. Физика твердого тела. Отдел колебаний ; n19)

Рубрикатор НБУВ:
 В338.28 с 
Тематичні рубрики:
 Техніка і організація процесу науково-дослідної і практичної діяльності. Матеріально-технічні засоби < Електронні і іонні мікроскопи >  


Дод. точки доступу:
Раков, А. В.; Стеколин, И. Ю.; РАН; Институт общей физики. Физика твердого тела. Отдел колебаний

Видання зберігається у :
Основний фонд