|
|
ДС90019
Оберемок, Олександр Степанович.
Дослідження механізмів дифузії імплантованих домішок в шаруватих структурах на основі кремнію в умовах нерівноважної концентрації точкових дефектів [Текст] : дис... канд. фіз.-мат. наук: 01.04.07 / Оберемок Олександр Степанович ; НАН України, Ін-т фізики напівпровідників ім. В. Є. Лашкарьова. - К., 2005. - 154 арк. - арк. 138-153Рубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Дод. точки доступу:
Національна академія наук України; Інститут фізики напівпровідників імені В. Є. Лашкарьова (Київ)
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|