|
|
ВА612093
Данилина, Тамара Ивановна.
Ионно-плазменные технологии в производстве СБИС [Текст] : учеб. пособие / Т. И. Данилина, С. В. Смирнов ; Томский гос. ун-т систем управления и радиоэлектроники. - Томск : [б.и.], 2000. - 140 с.: рис. - Библиогр.: с.137-140. - ISBN 5-86889-054-XРубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Дод. точки доступу:
Смирнов, Серафим Всеволодович; Томский гос. университет систем управления и радиоэлектроники
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|