ВА793001

Методи нанолітографії [Текст] / В. В. Петров [та ін.] ; НАН України, Ін-т проблем реєстрації інформації. - Київ : Наукова думка, 2015. - 261, [1] с. : рис. - (Проект "Наукова книга"). - Бібліогр.: с. 238-258. - 200 прим. - ISBN 978-966-00-1467-1

Рубрикатор НБУВ:
Тематичні рубрики:


Дод. точки доступу:
Петров, Вячеслав Васильович; Крючин, Андрій Андрійович; Куницький, Юрій Анатолійович; Рубіш, Василь Михайлович; Лапчук, Анатолій Степанович; Костюкевич, Сергій Олександрович; Національна академія наук України; Інститут проблем реєстрації інформації (Київ)

Видання зберігається у :
Основний фонд
Універсальний підсобний фонд