РА334727
Кудрик, Ярослав Ярославович.
Вплив активних обробок на процеси формування та властивості омічних та бар'єрних контактів до карбіду кремнію [Текст] : автореф. дис... канд. техн. наук: 05.27.06 / Кудрик Ярослав Ярославович ; НАН України, Ін-т фізики напівпровідників ім. В. Є. Лашкарьова. - К., 2004. - 16 с.: рис.

Рубрикатор НБУВ:
 З852 
Тематичні рубрики:


Дод. точки доступу:
Національна академія наук України; Інститут фізики напівпровідників імені В. Є. Лашкарьова (Київ)

Видання зберігається у :
Основний фонд