|
|
ДС40450
Суббота, Юрий Васильевич.
Методы лазерного сканирующего контроля дефектности поверхности кремниевых пластин [Текст] : дис...канд.техн.наук:05.27.06 / Суббота Юрий Васильевич ; АН Украины, Ин-т физики полупроводников. - К., 1993. - 190 с. - Библиогр:с.180-190Рубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Дод. точки доступу:
Академия наук Украины (Киев); Институт физики полупроводников (Киев)
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|