|
|
ДС81583
Вербицкий, Владимир Григорьевич.
Физико-технологические основы электронно-йонных методов создания наноструктур функциональных элементов для СБИС [Текст] : дис... д-ра техн. наук: 05.27.01 / Вербицкий Владимир Григорьевич ; Государственное предприятие НИИ микроприборов Минпромполитики Украины. - К., 2003. - 265 л. - Библиогр.: л. 247-259Рубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Дод. точки доступу:
Государственное предприятие НИИ микроприборов Минпромполитики Украины
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|