Досліджено процес взаємодії зонда зі зразком і розроблено математичну модель рівняння вимірювання розмірів на атомно-силовому мікроскопі, в якій враховуються похибки, що виникають в процесі взаємодії зонда та зразка. Розглянуто проблему виникнення переміщення вістря зонда під час нахилу осі сканувального зондового мікроскопа, одержано математичну модель впливу знайденого ефекту на точність вимірювання. Вдосконалено метод коригування параметрів неортогональності сканера. Розвинено метод сканування, який проводить вимірювання параметрів поверхні з кутом нахилу бічних стінок виступів менше кута нахилу твірної конуса зонда.

Розглянуто наноманіпулятори, які у порівнянні з аналогами прості, компактні і дешеві. Вони мають високу точність позиціювання досліджуваної деталі при лінійних переміщеннях по трьох координатах і поворотах по трьох осях, під час руху в сотні мікрон, що краще в порівнянні з деякими існуючими наноманіпуляторами ціною в декілька разів вище.

Проаналізовано моделі прогнозування зон досяжності в умовах міста. Виявлено доцільність сумісного застосування моделей Окумура - Хата й Уолфіша - Ікегамі для розрахунку втрат у разі поширення радіохвиль. Це дозволить більш точно враховувати особливості рельєфу міської забудови.