Проаналізовано зміну збільшення й розрізнення кріогенного польового іонного мікроскопа у разі зменшення розмірів зразків у нано- і субнанометрових діапазонах. Встановлено аномальне екстразбільшення польових іонних зображень та покращання межі розрізнення. Визначено атомну будову елементарних вуглецевих нанотрубок за допомогою створеної методики з субангстремним розрізненням. Зазначено, що субнанотрубки стабільні у вигляді пентагональних призм з прямокутними елементарними комірками на бічних гранях. Доведено оборотні стереоконформаційні перетворення вуглецевих ланцюжків і пряме динамічне зображення атомів у процесі даних перетворень за результатами досягнення межі розрізнення в далекій субангстремній області.