Простийпошук |
Розширенийпошук |
Покажчики
|
Професійний пошук |
Рубрикатор НБУВ |
Розподілений пошук |
Бази даних
Реферативна база даних - результати пошуку
Книжкові видання та компакт-дискиЖурнали та продовжувані виданняАвтореферати дисертаційРеферативна база данихНаукова періодика УкраїниТематичний навігаторАвторитетний файл імен осіб
 |
Для швидкої роботи та реалізації всіх функціональних можливостей пошукової системи використовуйте браузер "Mozilla Firefox" |
|
|
| Знайдено в інших БД: | Наукова періодика України (1) |
Пошуковий запит: (<.>AT=Odinokov Small-scale Vacuum System for$<.>) | |||
|
Загальна кількість знайдених документів : 1 |
|||
| 1. | Odinokov V. V. Small-scale vacuum system for deposition of multilayer metallic films "MVU TM-Magna 3M" / V. V. Odinokov, G. Ya. Pavlov, V. V. Panin, V. P. Raschinsky, A. N. Shpakov, A. V. Shubnikov // Журн. нано- та електрон. фізики. - 2014. - 6, № 3. - С. 03015-1-03015-2. - Бібліогр.: 3 назв. - англ. A new small-scale vacuum system "MVU TM-Magna 3M" developed at JSC "Research Institute of Precision Machine Manufacturing" is described. Its assembly and working conditions are considered. This system was used for magnetron sputtering multilayer metallic films. Індекс рубрикатора НБУВ: В378.26 + К663.033.057.2 Рубрики: Шифр НБУВ: Ж100357 Пошук видання у каталогах НБУВ  Повний текст Наукова періодика України
| ||
 |
| Відділ інформаційно-комунікаційних технологій |
 Пам`ятка користувача |