С применением методов RBS, рентгеноструктурного анализа и рамановского рассеяния исследованы легированные и нелегированные алюминием пленки ZnO, полученные с помощью золь - гель метода на стеклянных подложках с последующим имплантированием ионами Au<^>+. Рентгенодифрактометрический анализ показал, что образцы имеют гексагональную структуру с постоянными решетки a = 0,3245 - 0,3248 нм, c = 0,5203 - 0,5204 нм, c / a = 1,602 - 1,603 и текстурой роста. Средний размер ОКР в образцах составляет L(100) = 13,3 - 13,6 нм, L(002) = (11,3 - 12,) нм , L(101) = 12,0 - 12,2 нм. Установлено, что размер ОКР, период решетки и качество текстуры полученных образцов не зависят от имплантирования пленок ZnO ионами Au<^>+. По данным рентгеноструктурного анализа показано, что ионы золота в пленках находятся в основном в виде фазы AuZn3.