Рассматриваются физические явления в плазме и в гетерогенных системах пар (газ) - твердое тело при воздействии силовых полей и ионизирующих излучений. Описываются плазменные двигатели. Приводится диагностика пленочных объектов, их состав, структура, свойства. Освещается программирование вакуумно-технологических процессов, их теории и математическое моделирование. Дана характеристика полупроводниковых пленок сложных веществ, в частности, полученных легированием. Анализируются многослойные пленки и их свойства.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"