Куцова В. З. Вплив термообробки на властивості пластин напівпровідникового кремнію / В. З. Куцова, В. В. Пацалюк, В. М. Хроненко // Металознавство та оброб. металів. - 1999. - № 3. - С. 40-43. - Бібліогр.: 5 назв. - укp.Досліджено вплив термічної обробки на електрофізичні та механічні властивості кремнієвих пластин. Наведено результати термообробок, запропоновано режим обробки, який покращує службові характеристики пластин кремнію, що застосовуються у виробництві напівпровідникових приладів. Індекс рубрикатора НБУВ: З843.3
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж14768 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|