Методами оже- та екзоелектронної емісійних спектроскопій проведено елементно-фазовий аналіз реальних поверхонь поруватого кремнію (ПК) після формування поруватої структури методом електрохімічного травлення та контакту з лабораторною атмосферою. Досліджено елементний склад реальних поверхонь ПК та їх екзоелектронну емісію залежно від ступеня поруватості, часу експозиції на повітрі, у вакуумі та від дози електронного опромінення. Розраховано кінетичні та енергетичні параметри процесів, які зумовлюють екзоелектронну емісію, оцінено концентрацію екзоемісійно-активних центрів. Зроблено висновок про наявність адсорбатів і діелектричних покриттів на розвинених поверхнях ПК, роль яких у випромінювальних властивостях може бути визначальною. Методами кількісної оже-електронної спектроскопії оцінено склад діелектричних покриттів та їх ефективну товщину.

• Галій Павло Васильович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"