Кладько В. П. Изучение структуры тонких пленок арсенида галлия с помощью трехкристальной рентгеновской дифрактометрии / В. П. Кладько, Я. Домагала, В. Б. Молодкин, С. И. Олиховский, Л. И. Даценко, С. Маннинен, З. В. Максименко // Металлофизика и новейшие технологии. - 2001. - 23, № 2. - С. 241-254. - Библиогр.: 22 назв. - рус.З використанням трикристальної рентгенівської дифрактометрії досліджено тонкі плівки арсеніду галію. Встановлено, що для епітаксійних систем, як і для монокристалів, інтенсивність дифракції рентгенівських променів можна розділити на когерентну та дифузну складові. Комплексний аналіз характеру дифузного розсіювання (ДР) плівками GaAs, сильно легованими кремнієм, з використанням дифрактометрії високої роздільної здатності дозволив виявити в них мікродефекти різних розмірів і концентрацій, а також визначити їх тип. Уперше здійснено якісне порівняння експериментальних і розрахункових карт ізоліній ДР навколо вузлів структурного та квазізабороненого рефлексів. В окремих випадках (для перетинів просторового розподілу ДР) отримано кількісне узгодження теорії та експерименту. Ключ. слова: рентгеновские лучи, трехкристальная дифрактометрия, диффузное рассеяние, дефекты структуры Індекс рубрикатора НБУВ: К233.026-1 с
Шифр НБУВ: Ж14161 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|