Сидоренко С. И. Исследование структурных превращений при кристаллизации тонких пленок системы Ta - Si методом когерентного оптического фурье-анализа / С. И. Сидоренко, Ю. Н. Макогон, В. А. Мохорот, А. А. Дзярук, О. В. Зеленин // Металлофизика и новейшие технологии. - 2001. - 23, № 4. - С. 473-479. - Библиогр.: 3 назв. - рус.Вивчено особливості перебудови морфології структури в процесі кристалізації тонких плівок системи Ta - Si за допомогою когерентного оптичного фур'є-аналізу. Досліджено процеси фазоутворення в тонкоплівковій системі Ta - Si за температур відпалювання 917, 1078, 1223, 1307 і 1463 К. Виявлено та кількісно описано ряд особливостей у зміні морфології структури в процесі кристалізації системи. Ключ. слова: силицид, фурье-анализ, аморфное состояние, структурное превращение, ориентированное влияние подложки, кристаллическое состояние Індекс рубрикатора НБУВ: К235.150.26
Шифр НБУВ: Ж14161 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|