Обговорено двоетапний розрахунок іонного перемішування, в якому на першому етапі функція атомних каскадних переміщень моделюється методом молекулярної динаміки. На другому етапі одержана функція використовується для чисельного розв'язку рівняння іонного перемішування. Розгляд обмежено вкладом в іонне перемішування тільки стадії зіткнень в каскадах, ініційованих падаючими нормально на поверхню (100)Cu іонами Ar з енергією 200 еВ. Міжатомні взаємодії в каскадах моделюються потенціалом Борна-Майєра (Гібсон ІІ). Отримані розширення тонкого псевдошару, розподіл втілених іонів Ar по глибині зразка, коефіцієнти розпилення і іонного перемішування, ефективність іонного перемішування узгоджуються з відомими з літератури експериментальними та теоретичними результатами.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"