![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Книжкові видання та компакт-диски ![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Журнали та продовжувані видання ![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Автореферати дисертацій ![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Реферативна база даних ![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Наукова періодика України ![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Тематичний навігатор ![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Авторитетний файл імен осіб
|
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000012780<.>) |
Загальна кількість знайдених документів : 1
|
Левченко И. С. Моделирование процесса формирования тонких силицидных пленок на кремнии при высокотемпературном отжиге / И. С. Левченко, А. А. Сукенник, Г. А. Чечко // Пробл. упр. и информатики. - 2000. - № 6. - С. 51-59. - Библиогр.: 4 назв. - рус.Розроблено дифузійну модель процесу формування тонких силіцидних плівок на кремнії. Одержано розрахункові формули для визначення швидкості руху міжфазної границі силіцид-кремній і часу закінчення формування силіцидного шару залежно від товщини напиленої металевої плівки, температури відпалу, коефіцієнта дифузії та максимальної розчинності дифузанта в силіциді. Індекс рубрикатора НБУВ: З844.15-06
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж26990 Пошук видання у каталогах НБУВ
![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
|