Кукла А. Л. Оптимизация и выбор условий для функционирования емкостных сенсорных структур электролит - диэлектрик - кремний / А. Л. Кукла, Ю. М. Ширшов // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника. - 2000. - Вып. 35. - С. 16-25. - Библиогр.: 6 назв. - рус.Проведена оптимизация расчета сигнала отклика сенсорной емкостной структуры типа электролит - диэлектрик - полупроводник (ЭДП) с ионочувствительным слоем нитрида кремния, работающей по принципу измерения высокочастотных вольт-фарадных характеристик такой структуры. Проанализированы физические ограничения, возникающие при построении интегральных сенсорных ЭДП-массивов на основе единой кремниевой подложки. Показано, что оптимальный выбор как конструктивных, так и электрических параметров сенсорного массива позволяет получить независимые выходные сигналы для всех сенсорных каналов массива, обеспечивая его корректную работу. Індекс рубрикатора НБУВ: З843.312
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж60673 Пошук видання у каталогах НБУВ
Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|