Навчальний посібник складається з двох розділів: техніка і технологія напилення тонких плівок та техніка і технологія фотолітографії. В першому розкрита суть та зміст тонкоплівкової технології створення на поверхні одно- або багатошарових структур струмоведучих контактів і доріжок, діелектричних прокладок та ін. У другому розділі розглядається технологія фотолітографії, суть якої полягає в створенні по поверхні підкладки захисного шару необхідної конфігурації.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"