Исследовано влияние параметров осаждения на електрофизические свойства аморфных гидрогенизированных углеродных пленок. Для пленок, осажденных при минимальной мощности ВЧ-разряда, диэлектрические свойства не зависят от концентрации метана в рабочей газовой смеси. Основные электрофизические свойства таких пленок определяются их полимерной структурой. С увеличением мощности разряда величины диэлектрической проницаемости и тангенса угла диэлектрических потерь увеличиваются, что обусловлено присутствием в a-C:H-пленках значительного количества заряженных структурных единиц из 5-членных и 7-членных колец. При этом перенос заряда в материале ограничивается образованием сильно локализованных состояний - поляронов малого радиуса, и имеет прыжковый характер.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"