Приварников О. А. Оценка напряжений и прогибов в многослойных полупроводниковых пластинах после механической обработки / О. А. Приварников // Сверхтвердые материалы. - 1999. - № 1. - С. 34-40. - Библиогр.: 5 назв. - рус.
Предложена методика оценки распределения напряжений и прогибов в многослойной полупроводниковой пластине после различных видов механической обработки. Приводится пример ее использования для пооперационного прогнозирования напряженно-деформированного состояния при изготовлении кремниевой структуры с диэлектрической изоляцией.
Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"