Розроблено новий клас плазмових приладів - плазмохімічні реактори нанесення матеріалів, які використовують несамостійний розряд з випаровуванням матеріалу анода електронами із термокатода в розрідженому реактивному газі. Прилади знайдуть застосування в термоіонному напиленні тонких плівок і покриттів сполук металів та напівпровідників з газами (окисли, нітриди, карбіди, бориди та ін.).

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"