Розглянуто проблеми, що виникають під час створення вимірювачів імітансу для параметричного контролю напівпровідникових структур. Наведено принципи побудови таких вимірювальних засобів. Показано, що за допомогою дельта-модуляції можна розширити діапазони робочих частот та електричного зміщення досліджуваних об'єктів за умов збереження швидкодії методу прямого перетворення імітанса на напругу.

• Хома Володимир Васильович (технічні науки)
• Хома Віталій Вікторович (1967–) (військові науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"