Бомк О. Й. Про природу чутливості до аміаку газових сенсорів на основі структур надтонка титанова плівка - кремній / О. Й. Бомк, Л. Г. Ільченко, В. В. Ільченко, Г. В. Кузнєцов, В. М. Пінчук, О. М. Пінчук, В. І. Стріха // Укр. фіз. журн. - 1999. - 44, № 6. - С. 759-763. - Бібліогр.: 14 назв. - укp.Наведено результати дослідження газової чутливості контактних структур надтонкий шар титану - кремній. Аналіз експериментальних результатів та квантово-хімічні розрахунки методом СУП МО ЛКАО в наближенні нехтування диференціальним двохатомним перекриванням (НДДП) дають можливість вважати, що газову чутливість контактних структур при адсорбції аміаку можна пояснити перерозподілом електронної густини в атомах кисню і кремнію, що входять до складу перехідного шару межі поділу метал - кремній. Цей процес приводить до зміни ефективної діелектричної проникності перехідного шару, що в свою чергу визначає зміну вольт-амперної характеристики (ВАХ) контактної структури. Індекс рубрикатора НБУВ: З852-06
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж26988 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|