Саенко В. А. Термоионный синтез материалов / В. А. Саенко, Г. Н. Веремейченко, З. А. Попович // Пробл. спец. электрометаллургии. - 1999. - № 3. - С. 34-37. - Библиогр.: 8 назв. - рус.Розроблено нову конструкцію реактора термоіонного синтезу матеріалів. Одержано плівки з'єднань металів із газами. Досліджено плівки нітриду титану, параметри яких кращі за параметри плівок, одержаних традиційними способами. Ключ. слова: вакуум, ионизация, испарение, напыление, плазма, синтез, электрический разряд Індекс рубрикатора НБУВ: К663.030
Шифр НБУВ: Ж14257 Пошук видання у каталогах НБУВ
Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|