Розроблено технологію синтезу вуглецевих алмазоподібних плівок (АПП) плазмохімічним способом з високочастотним асистуванням. Для формування електропровідних структур АПП їх легували металами безпосередньо у процесі зростання. Розглянуто основні параметри технологічного процесу, що забезпечують можливість керування ним для одержання матеріалу з заданими властивостями.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"